【新型光刻胶制备方法开发成功】金十数据9月27日讯，华东理工大学副教授庄黎伟、美国约翰霍普金斯大学教授迈克尔.萨帕希斯领
文 / 小金
2025-09-27 12:40:02
来源:亚金网
【新型光刻胶制备方法开发成功】金十数据9月27日讯，华东理工大学副教授庄黎伟、美国约翰霍普金斯大学教授迈克尔.萨帕希斯领衔的国际合作团队，提出了一种间歇性旋涂化学液相沉积制备非晶态沸石咪唑酯骨架(aZIF)薄膜的方法，实现了薄膜沉积速率和厚度的可控，并进行了电子束光刻和超越极紫外光刻验证。相关研究近日发表于《自然—化学工程》。据介绍，近年来，aZIF薄膜被用作先进光刻胶。实现aZIF薄膜的大面积、高精度可控制备，对相关领域的先进光刻工艺具有重要意义。
